Микроскоп L200N/L300N
Серия микроскопов для контроля качества полупроводниковых пластин и фотошаблонов размерами до 200 см/300 см соответственно. Наблюдение методами светлого поля, темного поля, ДИК, двухлучевой интерферометрии, эпифлуоресценции с возбуждением от 365 нм. Модели L200N/L300N предназначены для исследований в отраженном свете, модели L200ND/L300ND позволяют проводить исследования в отраженном и проходящем свете.
